Home 100 nm 이하 게이트 길이를 갖는 자기정렬형 채널 함몰 NMOS 소자와 함몰 깊이 최적화
기간
1998
참가자
Du-yeon Jung
대회명
한국반도체학술대회
100 nm 이하 게이트 길이를 갖는 자기정렬형 채널 함몰 NMOS 소자와 함몰 깊이 최적화