Domestic
Registration
반도체소자 및 그의 제조방법 (SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME)
Author
admgenie
Date
2024-03-25
Views
411
고주파수 신호처리를 하는 집적회로에서 신호가 손실되는 것을 방지하기에 적당한 반도체소자 및 그의 제조방법을 제공하기 위한 것으로, 이와 같은 목적을 달성하기 위한 반도체소자는 기판에 일정간격으로 복수개의 홀을 갖고 형성된 제 1 절연막, 기판의 제 1 절연막 하부의 소정영역에 형성된 공동(Cavity), 상기 공동이 형성된 상기 기판의 표면내에 형성된 불순물영역, 상기 제 1 절연막에 형성된 홀을 메우도록 상기 제 1 절연막 상·하부 및 공동표면의 상기 기판상에 형성된 제 2 절연막, 상기 공동 양측의 상기 불순물영역이 드러나도록 형성된 복수개의 콘택홀, 상기 불순물영역과 콘택되도록 상기 콘택홀내에 형성된 배선층으로 구성됨을 특징으로 한다.
등록번호/일자 1002688780000 (2000.07.18)
등록번호/일자 1002688780000 (2000.07.18)