Domestic
Registration
수평형 플로팅 게이트를 갖는 FET형 센서의 펄스 구동 방법 (PULSE METHOD FOR FET-TYPE SENSOR HAVING HORIZONTAL FLOATING GATE)
작성자
admgenie
작성일
2024-03-25
조회
445
본 발명은 수평형 플로팅 전극을 가지는 FET형 센서의 펄스 구동방법에 관한 것이다. 상기 FET 형 센서의 펄스 구동 방법은, 상기 제어 전극에 하나 또는 둘 이상의 펄스 형태의 읽기 준비 전압(pre-bias(Vpre))를 인가하는 읽기 준비 단계; 및 상기 제어 전극에 하나 또는 둘 이상의 펄스 형태의 읽기 전압(read-bias (VrCG) )을 인가하고, 상기 드레인과 소스 사이에는 상기 읽기 전압 펄스와 동기화된 펄스 전압(VrDS )을 인가하는 읽기 단계;를 구비한다. 제어 전극의 입력 단자에 인가되는 pre-bias 펄스 전압의 폭이나 크기에 따라 반응성 및 회복 시간을 개선시킬 수 있고, 산화성 및 환원성 가스의 구분이 가능하다. 또한, 읽기구간에만 FET형 센서에 전류가 흐르기 때문에 전력 소모를 크게 줄일 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 펄스 구동방법은 히터를 내장한 FET형 센서에도 적용될 수 있다. Heater의 heating-bias, pre-bias, read-bias 펄스의 폭, 크기, 순서, 개수를 조합하여 인가해줌으로써, 반응 시 감지물질층을 가열시켜 반응 및 회복 특성을 개선시킬 수 있다. 또한, 읽기 구간을 제외한 pre-bias 와 heating구간에서는 센서에 전류가 흐르지 않기 때문에 소비 전력을 낮출 수 있어 저전력, 모바일 제품에 적용이 가능하다.
등록번호/일자 1019609630000 (2019.03.15)
등록번호/일자 1019609630000 (2019.03.15)