본 발명은 내장형 마이크로 히터를 포함하는 가스 센서에 관한 것이다. 상기 가스 센서는, 내장형 마이크로 히터와 전기적으로 연결된 제1 금속 배선; 상기 내장형 마이크로 히터의 주변을 따라 구비된 복수 개의 제1에칭홀들; 상기 제1 에칭홀들 사이에 형성된 제1 마이크로 브릿지(micro-bridges)들; 상기 제1 에칭홀들의 주변에 위치한 내장형 마이크로 히터의 하부의 기판에 형성된 제1 공기층; 상기 제1 금속 배선의 주변을 따라 구비된 복수 개의 제2 에칭홀들; 상기 제2 에칭홀들 사이에 형성된 제2 마이크로 브릿지(micro-bridges)들; 및 상기 제2 에칭홀들의 주변에 위치한 제1 금속 배선의 하부 기판에 형성된 제2 공기층; 을 구비하여, 내장형 마이크로 히터에서 생성된 열이 상기 내장형 마이크로 히터 및 상기 제1 금속 배선을 통해 방출되는 것을 억제하는 것을 특징으로 한다.

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