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서울대학교 서울대학교 이종호 교수님 연구실

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Analysis of Cr/Au contact reliability in embedded poly-Si micro-heater for FET-type gas sensor

저자

Jinwoo Park et al.

저널 정보

Sensors and Actuators B: Chemical

출간연도

2022

링크

https://doi.org/10.1016/j.snb.2022.131673

Analysis of Cr/Au contact reliability in embedded poly-Si micro-heater for FET-type gas sensor

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