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Registration
저항 변화를 기반으로 한 나노 스케일의 전자기계적 구조의 스위치 소자 (NEMS atomic switch based on resistance variation)
Author
admgenie
Date
2024-03-25
Views
474
본 발명은 저항 변화 스위칭 물질을 이용한 넴스 원자 스위치에 관한 것이다. 상기 넴스 원자 스위치는, 기판; 상기 기판위에 형성된 제1 전극; 저항 변화 스위칭 물질로 구성되어 상기 제1 전극위에 형성된 저항변화층; 상기 저항변화층으로부터 일정 거리 이격되어 형성된 제2 전극; 상기 기판위에 형성되고, 상기 제2 전극의 단부에 연결되어 상기 제2 전극이 상기 저항변화층으로부터 일정 거리 이격되어 유지되도록 상기 제2 전극을 지지하는 지지대; 상기 제2 전극의 양 측면으로부터 일정 거리 이격되어 형성된 보조 전극;를 구비한다. 상기 저항 변화층과 제2 전극의 사이에 공기층이 형성되어, 상기 제2 전극이 정전기력에 의해 공기층을 수직방향으로 이동하여 스위치 온 상태를 유지하거나, 기계적 복원력에 의해 원래 위치로 되돌아감에 따라 스위치 오프 상태를 유지하게 된다. 또한, 상기 제2 전극과 보조 전극의 사이에도 공기층이 형성되어, 이들간의 정전기력에 의해 제2 전극이 수평방향으로 이동함에 따라 스위치 오프를 원할하게 구동하게 된다.
등록번호/일자 1014557430000 (2014.10.22)
등록번호/일자 1014557430000 (2014.10.22)