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Registration
수평형 플로팅 게이트를 갖는 3차원 핀펫형 가스 감지소자
작성자
admgenie
작성일
2024-03-25
조회
458
본 발명은 3차원 핀펫형 가스 감지소자에 관한 것으로, 수평 방향으로 형성된 플로팅 전극 구조를 가짐으로써, 종래 수직방향으로 적층된 플로팅 전극, 감지물질층, 제어 전극을 갖는 가스 감지소자에 비해 잡음감소, 공정단순화, 오염방지, 감지속도개선, 다양한 감지물질 적용 가능, 기계적 안정성 등의 장점을 갖고, 다양한 감지 기작으로 동작하는 복수 개의 가스 감지소자를 하나의 기판에 쉽게 구현할 수 있는 효과가 있다.
등록번호/일자 1014956270000 (2015.02.16)
등록번호/일자 1014956270000 (2015.02.16)