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Effects of Postdeposition Annealing Ambience on NO2 Gas Sensing Performance in Si-Based FET-Type Gas Sensor

저자

Wonjun Shin et al.

저널 정보

IEEE Transactions on Electron Devices

출간연도

2022

링크

https://doi.org/10.1109/TED.2022.3161246

Effects of Postdeposition Annealing Ambience on NO2 Gas Sensing Performance in Si-Based FET-Type Gas Sensor

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