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서울대학교 서울대학교 이종호 교수님 연구실

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Facet evolution in selective epitaxial growth of Si by cold-wall ultrahigh vacuum chemical vapor deposition

저자

Seung-Hyun Lim et al.

저널 정보

Journal of Vacuum Science and Technology B

출간연도

2004

링크

https://doi.org/10.1116/1.1676595

Facet evolution in selective epitaxial growth of Si by cold-wall ultrahigh vacuum chemical vapor deposition

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